もう、ヒーターがMEMSの歩留まりを悪化させるのを許してはいけません。
クラス100のクリーンルームで作業を行っているなら、製品が台無しになるという恐怖をご存知でしょう。あらゆることを正しく行っていても、安価なヒーターから出る微細な破片やガスがMEMSセンサーワイファーに付着してしまいます。そうなると、歩留まりが急激に下がってしまいます。
本当にイライラしますよね。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用するようにしました。抵抗式ヒーターやガスを発生させるランプとは異なり、放射熱のみを利用します。物理的な接触もなく、空気の流れによるほこりの発生もありません。とても清潔で、素早く乾燥します。
なぜ石英が重要なのか
私たちは普通のガラスを使っているわけではありません。高純度の融解シリカを使用しています。
これは非常に丈夫で、厳しい温度変化にも耐えられます。また、金属イオンが工程に混入する心配もありません。
真の魔法は短波長のIR光にあります。この光がワイファー上の液体残留物を瞬時に蒸発させます。とても速いのです。
そして、不要な成分はすべて排除されています。有機系の接着剤や、最初の数回の運転で燃焼して煙を出すような安価なコーティングもありません。スイッチを入れた瞬間から、安定した熱が得られます。
設置方法
これらの装置はコンパクトで、狭い場所でも問題なく設置できます。小さなサイズながらも大きなパワーを持っているため、すぐに温度が上昇します。
ただし、一点に集中するほどの高温になるため、冷却ファンやヒートシンクをしっかりチェックする必要があります。ワイファーが素早く乾燥するからといって、周囲の電子機器が壊れてしまっては元も子もありません。
簡単に清潔を保つ
クラス100の環境では、「十分に清潔である」というだけでは不十分です。
私たちは構造を極力シンプルにしています。純粋な石英とタングステンのみを使用します。揮発性のある塗料や粘着性のある接着剤は一切使いません。石英の封筒をしっかり密封することで、フィラメントが酸化するのを防ぎます。そうすれば、ランプが破裂して微細なガラス片がワイファーに飛び散るという問題も起きません。
ヒーターを汚染源として排除すれば、作業はずっと楽になります。歩留まりも理想的な状態を維持できます。