空気を加熱するのをやめよう：なぜIRがスマートファブの鍵となるのか インダストリー4.0に向けてスマートファブを構築しようとしているなら、従来の加熱方法では不十分だと気づいているはずです。従来の対流式加熱法は遅く、非効率的です。ほとんどの場合、部品自体を加熱する代わりに、部品の周りの空気を加熱する...

寒い場所をすぐに暖める方法：高密度の赤外線素子の真実 凍えるような更衣室に入ったと想像してみてください。20分も待ってから空気が温まるのを待ちたくはありませんよね。今すぐにでも暖かさを感じたいのです。 だからこそ、私たちは空気を温める手間を省きます。代わりに、短波長の赤外線を直接使用して、人や装備...

IR加熱と熱風加熱：ウェーハ処理においてなぜ切り替えが重要か もし、深層加工において熱風循環方式をIR加熱に置き換えようと考えているのであれば、単に新しいヒーターを選ぶだけではありません。実際には、すべての処理を遅らせる原因となる「熱伝達の遅れ」という問題を解消することになります。 待つ時間 強制...

はじめに さっそく本題に入りましょう。ウェーハ製造プラントを運営している方なら、熱安定性が単なる「望ましい特性」ではないことをご存知でしょう。それはまさに不可欠な要素なのです。 もし、プロセスで0.1°Cの精度が求められる場合、常に一定の温度を維持できるヒーターが必要です。毎回同じように機能し、温...

部屋のレイアウトや断熱性能に合わせて適切な温度を設定することは、単なる推測ではありません。これは簡単な計算によって行えるもので、結果として、部屋が寒くなったり、過剰な設備を導入して無駄なエネルギーを使うことを防げます。赤外線ヒーターを適切に設置すれば、暖かさは人がいる場所に直接届き、空気中だけに留...

Fabフロアでは、ベーク温度の半度のドリフトだけでロット全体を廃棄することになる。フォトレジストのプロファイルの変化を監視し、計測でクリティカルディメンションのバイアスが現れ、歩留まりの低下がシフトレポートに反映されるのを目の当たりにする。 従来のオーブンや単一ゾーンのホットプレートでは、熱予算と...