空気を加熱するのをやめよう：なぜIRがスマートファブの鍵となるのか インダストリー4.0に向けてスマートファブを構築しようとしているなら、従来の加熱方法では不十分だと気づいているはずです。従来の対流式加熱法は遅く、非効率的です。ほとんどの場合、部品自体を加熱する代わりに、部品の周りの空気を加熱する...

ヒーターが生産効率を低下させるのを防ぎましょう。 高負荷の半導体製造を行っている場合、最悪の事態を想像してみてください：赤外線ランプが破損してしまうのです。 それは大惨事です。クォーツ管が破裂すると、ガラスの破片や金属片がウェーハに降り注ぎます。その結果、生産効率は急激に低下し、最悪の場合は全く生...

ファブ内で正確な温度データを取得するために 「スマートファブ」を構築しようとしているのであれば、単に高機能なソフトウェアだけでは不十分だということがお分かりでしょう。ダッシュボードを買って終わり、というわけにはいきません。実際にデータとやり取りできるハードウェアが必要です。 半導体の加熱に関して言...

なぜ半導体用トレイの加熱に赤外線を使用するのか？ 半導体用トレイを加熱する際、私たちは赤外線を利用します。なぜでしょうか？それは、従来の対流式オーブンを使う方法では問題が多いからです。そのようなオーブンでは、微粒子が漏れ出したり、硬化温度を下げるために有害な化学触媒やVOCが必要になったりします。...

リソグラフィーの工程では、わかっていると思いますが、ソフトベイクのプロファイルにわずか0.5度の誤差があっただけで、重要な寸法がナノメートル単位で変動してしまいます。つまり、線が急に目から遠ざかってしまうのです。私たちは、適切な熱管理を実現するために、調光可能な半導体ヒーターランプを開発しました。...

ライン上では、ウェーハはベイクを待っている状態であり、あなたのスケジュールも同様に待機している。どちらも安定状態が維持されることを前提としている。温度の逸脱やレジスト上のホットスポットがひとつでも発生すれば、重要なライン幅がずれ始める。有機半導体の工程では、熱予算は限られており、許容誤差はパターン...