なぜ半導体用トレイの加熱に赤外線を使用するのか？ 半導体用トレイを加熱する際、私たちは赤外線を利用します。なぜでしょうか？それは、従来の対流式オーブンを使う方法では問題が多いからです。そのようなオーブンでは、微粒子が漏れ出したり、硬化温度を下げるために有害な化学触媒やVOCが必要になったりします。 一方、赤外線はそうした問題を解決してくれます。空気を温めるのではなく、エネルギーを直接材料の中に送り込むのです。 これは、全く異なる種類の熱です。 寒い日に太陽の下に立つことを想像してみてください。空気が温まっているのを感じるのではなく、肌に熱が当たるのを感じます。 クリーンルーム用のトレイでは、短波長の赤外線がコーティングや接着剤の奥深くまで届きます。これにより、材料が内側から硬化していきます。部屋全体を温める必要がないため、大量の電力を節約できます。通常、対流式システムと比べて30％から50％ものエネルギーを節約できます。これは地球環境や電気代にとっても有益です。 純度の保持 鉛フリーはんだを使う場合、高温が必要であり、非常に正確な温度管理が求められます。 この点で、赤外線ランプは最適です。数秒で所定の温度に到達します。燃焼や煤、二酸化炭素の排出もないため、ウェーハを損傷させる心配がありません。また、ランプを高純度の石英で覆うことで、ガス放出の心配もありません。 欠点（必ずあるものです） 赤外線は優れていますが、一つ欠点があります。それは、直線上でしか効果がないということです。 トレイの形状が複雑で不均一な場合、冷却部分ができてしまいます。だからこそ、反射板の角度を慎重に調整する必要があるのです。そうすれば、熱がトレイの隅々まで行き渡ります。 また、熱が非常に強いため、適当なフレームに取り付けるだけではダメです。しっかりとした断熱処理が必要です。そうしないと、チassisが変形したり、最悪の場合、クリーンルームの温度警報が作動して、建物内の全員が起きてしまう可能性があります。