シャードの発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 大量生産の半導体製造ラインにおいて、赤外線ランプが破損するのは大問題です。単に停止するだけでなく、ガラスの破片や微粒子がウェーハに付着してしまいます。本当に大変な状況です。 そのため、私たちはクリーンルーム内のヒーターを設計する...

なぜ半導体用トレイの加熱に赤外線を使用するのか？ 半導体用トレイを加熱する際、私たちは赤外線を利用します。なぜでしょうか？それは、従来の対流式オーブンを使う方法では問題が多いからです。そのようなオーブンでは、微粒子が漏れ出したり、硬化温度を下げるために有害な化学触媒やVOCが必要になったりします。...