ファブ内でのエネルギー漏れを防ぐ方法 もし半導体製造ラインにおいてエネルギー消費量の診断を行ったことがあるなら、どこでエネルギーが無駄になっているかはすぐにわかるでしょう。通常、それは乾燥工程です。ほとんどのファブでは、チャンバー内の空気をすべて加熱することでウェーハ上の水分を除去しようとしていま...

もう、ヒーターがMEMSの歩留まりを悪化させるのを許してはいけません。 クラス100のクリーンルームで作業を行っているなら、製品が台無しになるという恐怖をご存知でしょう。あらゆることを正しく行っていても、安価なヒーターから出る微細な破片やガスがMEMSセンサーワイファーに付着してしまいます。そうな...

オフィスでは、冬の寒さが単に震えをもたらすだけではない。血行が悪くなり、肩がこわばり、スタッフが性能の低いヒーターの周りに集まるために鼻をすすり合うことが多くなる。快適性が低下すると集中力と出勤率が落ち、締め切りが急に重く感じられる。 技術的に重要な点 当社のオフィス用赤外線ヒーターは、カーボンフ...

ライン上では、ウェーハはベイクを待っている状態であり、あなたのスケジュールも同様に待機している。どちらも安定状態が維持されることを前提としている。温度の逸脱やレジスト上のホットスポットがひとつでも発生すれば、重要なライン幅がずれ始める。有機半導体の工程では、熱予算は限られており、許容誤差はパターン...

スピンリンスドライヤーから出てくるウェハーは濡れた状態で、表面張力が微細構造に作用している。続く熱処理ステップでわずかでも誤差が生じると、フォトレジストのプロファイルが変動し、エッジビードが残留し、次のリソグラフィのオーバーレイターゲットがずれる。これは仮説ではなく、歩留まりの漏れであり、廃棄ウェ...