有機半導体乾燥ランプ

ライン上では、ウェーハはベイクを待っている状態であり、あなたのスケジュールも同様に待機している。どちらも安定状態が維持されることを前提としている。温度の逸脱やレジスト上のホットスポットがひとつでも発生すれば、重要なライン幅がずれ始める。有機半導体の工程では、熱予算は限られており、許容誤差はパターン...