なぜ半導体の硬化処理に赤外線を使用するのか？ もし依然として溶剤を使った乾燥方法や大型の対流式オーブンを利用しているなら、環境への配慮が必要だということはご存知でしょう。これは単に「環境に優しい」という要件を満たすだけの問題ではありません。実際には、クリーンルーム全体の環境負荷を考える必要があるの...

寒い場所をすぐに暖める方法：高密度の赤外線素子の真実 凍えるような更衣室に入ったと想像してみてください。20分も待ってから空気が温まるのを待ちたくはありませんよね。今すぐにでも暖かさを感じたいのです。 だからこそ、私たちは空気を温める手間を省きます。代わりに、短波長の赤外線を直接使用して、人や装備...

はじめに さっそく本題に入りましょう。ウェーハ製造プラントを運営している方なら、熱安定性が単なる「望ましい特性」ではないことをご存知でしょう。それはまさに不可欠な要素なのです。 もし、プロセスで0.1°Cの精度が求められる場合、常に一定の温度を維持できるヒーターが必要です。毎回同じように機能し、温...