ウェーハ加熱時の安全距離
IR加熱と熱風加熱:ウェーハ処理においてなぜ切り替えが重要か
もし、深層加工において熱風循環方式をIR加熱に置き換えようと考えているのであれば、単に新しいヒーターを選ぶだけではありません。実際には、すべての処理を遅らせる原因となる「熱伝達の遅れ」という問題を解消することになります。
待つ時間
強制...
パティオヒーターと天井の距離
なぜ古いバスルーム用ヒーターは危険なのか(そして、代わりに何を使うべきか) 正直に言って、昔のバスルーム用の「ランプ型ヒーター」はかなり頑丈さに欠けます。一般的には、ほとんど保護機能がない単純なクォーツ管を使用しているだけです。 問題は、バスルームというのは実質的にサウナのような場所だということで...