ウェーハを待つのはやめましょう：なぜUHP赤外線ランプが有効なのか もし依然として熱風循環に頼っているのであれば、それは単に時間を無駄にしているだけです。空気を加熱し、その空気がウェーハを加熱するのを待つわけです。これは対流方式であり、非常に遅いのです。半導体製造の世界では、このような遅さは単に面...

はじめに さっそく本題に入りましょう。ウェーハ製造プラントを運営している方なら、熱安定性が単なる「望ましい特性」ではないことをご存知でしょう。それはまさに不可欠な要素なのです。 もし、プロセスで0.1°Cの精度が求められる場合、常に一定の温度を維持できるヒーターが必要です。毎回同じように機能し、温...