マットソンRTPランプ交換

Fabフロアでは、ランプのドリフトプロファイルはアラームを発しません。ウェハ全体に0.3℃のホットスポットとして現れ、クリティカルディメンションのゆっくりとした変動や、均一にベークされないフォトレジストとして表れます。Mattson RTPツールが経年劣化すると、最初に影響を受けるのは熱均一性です...