なぜ半導体の硬化処理に赤外線を使用するのか？ もし依然として溶剤を使った乾燥方法や大型の対流式オーブンを利用しているなら、環境への配慮が必要だということはご存知でしょう。これは単に「環境に優しい」という要件を満たすだけの問題ではありません。実際には、クリーンルーム全体の環境負荷を考える必要があるのです。 そのため、私たちはグローブボックス内での加熱方法として赤外線を利用しています。部屋中の空気を温めるのではなく、赤外線はエネルギーを直接部品に送り込みます。巨大な空気処理装置も不要で、電力の無駄遣いもありません。つまり、炭素排出量が大幅に減少します。
加熱の高速化
面白い点は、赤外線は空気に影響を与えないということです。赤外線は直接基板に浸透します。 私たちは、硬化させたい材料の吸収帯に合わせて赤外線の波長を調整します。つまり、グローブボックスの壁や内部に漂う不活性ガスを温めるためのエネルギーを無駄にすることがありません。 **速いのです。**本当に速いのです。エネルギーが媒体を通過する必要がないため、加熱時間が大幅に短縮されます。
グローブボックス内での正確な加熱
グローブボックス内で作業するとき、最も避けたいのが汚染です。そのため、高純度の石英製のケースを使用して、ガスの漏れを防ぎます。 通常、私たちは短波または中波の発光体を使用します。なぜかというと、熱が目的の部分に直接当たるようにしたいからです。部屋全体を温めてしまっては意味がありません。 しかし、出力密度には注意が必要です。確かに、高出力の発光体を使えば素早く硬化できますが、電源に大きな負荷がかかります。また、ランプが部品に近すぎると、局所的に過度に加熱されてしまいます。焦点を正確に合わせないと、ウェーハが焼けてしまいます。
長所と短所
赤外線はクリーンで迅速ですが、一つの欠点があります。それは、視線が遮られない状態が必要だということです。 もし部品に深い溝や複雑な3D形状がある場合、影ができてしまいます。単純に赤外線ランプを置いても、均一に硬化することはできません。 これを解決するために、私たちは通常、金メッキされた反射板を発光体と一緒に使用します。これにより、無駄になるはずのエネルギーが再びワークピースに戻されます。シンプルですが、効果的です。