半導体クリーンルーム用トロリーサーマー

なぜ半導体用トレイの加熱に赤外線を使用するのか？ 半導体用トレイを加熱する際、私たちは赤外線を利用します。なぜでしょうか？それは、従来の対流式オーブンを使う方法では問題が多いからです。そのようなオーブンでは、微粒子が漏れ出したり、硬化温度を下げるために有害な化学触媒やVOCが必要になったりします。...