TEL 東京エレクトロン ヒーターランプ

リソグラフィーの現場では、フォトレジストを加熱する際に1℃でも温度がずれるだけで、良好な品質のウェーハが廃棄物に変わってしまいます。毎回、正確に指定された場所に適切な温度が与えられる必要があります。 本当に重要なのは何か TELヒーターランプは、目標領域全体に対してマイクロメートル単位の精度で赤外...