UHP 超高純度 ヒーターランプ

ウェーハを待つのはやめましょう：なぜUHP赤外線ランプが有効なのか もし依然として熱風循環に頼っているのであれば、それは単に時間を無駄にしているだけです。空気を加熱し、その空気がウェーハを加熱するのを待つわけです。これは対流方式であり、非常に遅いのです。半導体製造の世界では、このような遅さは単に面...