なぜ私たちはCNTの加熱に赤外線ヒーティングを採用したのか カーボンナノチューブを作るには、熱が不可欠です。化学気相成長法（CVD）を実際に利用するためには、非常に正確な温度勾配が必要です。長い間、一般的には従来の抵抗式炉が使われてきました。しかし正直なところ、小さな基板上の物質を温めるためだけに...

クラス100のクリーンルームで適切な暖房を実現するには クラス100の環境で作業を行う際、実際の温度はほとんど問題になりません。本当の問題は、ヒーターから空気中に放出される物質です。 一般的なヒーター素子は、このような状況には向いていません。加熱や冷却の過程で、微細な粒子が発生します。ウェハーや光...