クラス100のクリーンルームで適切な暖房を実現するには
クラス100の環境で作業を行う際、実際の温度はほとんど問題になりません。本当の問題は、ヒーターから空気中に放出される物質です。
一般的なヒーター素子は、このような状況には向いていません。加熱や冷却の過程で、微細な粒子が発生します。ウェハーや光学コーティングの加工を行っている場合、たった一つの粒子でも全ての製品が台無しになってしまいます。これは非常に厄介で、コストもかかります。
そうしたことを防ぐために、私たちは高純度の合成石英や炭素繊維フィラメントを使用しています。
なぜ石英を使うのか？
高純度の石英管を使う理由は、高温になっても剥がれたり破損したりしないからです。金属製の被覆材は不安定になりがちですが、石英は化学的に安定しています。
また、炭素繊維素子を真空密閉容器に収めることで、何もが内部に入り込むのを防ぎます。これにより、汚染物質が混入することなく、均一な熱が得られます。
しかし、デメリットもあります。
炭素繊維ランプの問点は、温度が非常に速く上昇することです。これは作業効率には良いですが、熱が集中しすぎます。高ワット数の電力を使用する場合、その熱をそのまま放置してはいけません。しっかりとした放熱装置や適切な空気循環が必要です。さもなければ、精密な部品が変形してしまう可能性があります。スイッチを入れる前に、取り付けブラケットが熱膨張に耐えられるかを確認してください。そうしないと、作業中に部品がずれてしまう可能性があります。
設置方法
これらのランプは、既存の赤外線アレイの交換用として作られています。サイズは標準的なものを採用しているのは、誰も週末を費やしてジグを再加工したくないからです。
ただし、設置時には清潔さに注意する必要があります。糸くずのつかない拭き布やイソプロピルアルコールを使用してください。石英表面に指紋が残ると、最初の運転時にその部分が焼け付いてしまいます。これにより「ホットスポット」ができ、ランプの寿命が短くなってしまいます。最後に、電源が安定していることも重要です。電圧の急変は大敵です。安定した電流によって、フィラメントの振動が抑えられ、作業対象全体に均一な熱が渡り、部品の寿命も延びます。