なぜファブのランプにクォーツシールドを使用するのか？ 半導体ファブで働いている人なら、IR硬化が最適な方法だということはわかっているでしょう。清潔で環境にも優しく、エネルギーを直接基板に照射することで効率的に硬化処理が行えます。しかし、問題点もあります。つまり、ランプをクリーンルーム内にそのまま放置してはいけないのです。ここでクォーツシールドが役立ちます。
重要なのは熱の問題です。 これらのシールドは単なる見た目のためのものではありません。高純度の融着石英を使用する理由は、短波長の赤外線がそのまま通過できるからです。もし普通のガラスを使ったら、その熱をすべて吸収してしまい、最終的には破損してしまいます。 一方、クォーツはそのような負荷に耐えられます。ランプが点灯すると、温度が瞬時に上昇しますが、クォーツはその衝撃を吸収し、ランプのフィラメントを安全に保ちます。
清潔さを保つ（そして機能を維持する） 実際の問題は、汚染です。 ファブ内では、ガスや化学物質が飛び散っています。たとえわずかな量でも、それがランプのクォーツ管に付着してしまうと大変です。そうなると「ホットスポット」ができ、熱が逃げられず、結果としてランプが溶けてしまいます。 シールドがその負担を引き受けるおかげで、ランプは壊れる心配がありません。また、交換が容易なようにしています。シールドが汚れただけで生産ラインが何時間も停止するのは望ましくありません。
トレードオフ もちろん、何事も無料というわけにはいきません。ランプとウェハーの間に何かを挿入するたびに、少しのエネルギーが失われます。クォーツを使っても、やはり一部の熱は残ります。 電力計算をすると、その影響がわかります。超高速な硬化処理を行いたい場合は、シールドが吸収するエネルギーを補うために、ワット数を調整する必要があるかもしれません。 最後に、取り付けブラケットを確認してください。しっかり固定されているか確認しましょう。シールドが振動し続けると、時間が経つにつれて微細な亀裂が生じ、最終的には故障してしまいます。