産業用半導体製造装置ヒーター交換

ライン上で、ソフトベイクの0.5°Cのドリフトは「小さな誤差」ではなく、ロット廃棄を意味する。フォトレジスト処理においては、熱の不安定さに妥協の余地はない。ファブ用ヒーターを交換する際には、計測可能な制御が求められ、マーケティング的な説明は不要である。 実際に重要なのは次の点である。 厳密な熱均一...