熱の無駄遣いをやめよう：なぜ半導体製造プラントには金製の反射器が適しているのか もし本当に半導体製造プラントでカーボンニュートラルを実現したいのであれば、エネルギーの漏れを防がなければなりません。一般的な抵抗加熱方式は、単純に無駄が多すぎます。ウェハ自体を加熱する代わりに、ウェハの周囲の空気を加熱...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 クラス100の環境で作業を行う際、最も避けたいのが、加熱要素から粒子やガスが放出されてしまうことです。それは大変な問題です。一般的な赤外線ランプでは、このような要求に応えることはできません。だからこそ、私たちは高純度の石英を使用し、金コーティ...