熱分析装置用加熱ランプ

リソグラフィーの工程において、ソフトベイクやハードベイクの際に1°C程度の温度変動が生じると、それは単なる理論上の問題に留まりません。実際には、線幅のばらつきや表面の汚れ、歩留まりの低下といった問題が発生します。すでに熱管理は厳しい状況にあり、オーブンやホットプレートでは、フォトレジストが適切なガ...