中波石英ヒーターチューブ

300mmリソグラフィーでは、フォトレジストの焼成時に0.5℃のずれが生じても、大きな警告が表示されることはありません。代わりに、計測結果として線幅の変動が現れ、最終的には不良ウェーハが発生します。熱管理の範囲はすでに限られているため、ヒーターは単なる熱源として機能するだけでなく、計測ツールとして...