ウェーハの汚染を防ぐために：洗浄エリアでのIRランプの取り扱い方法
正直に言って、ウェーハ製造工程の洗浄・乾燥段階は非常に危険な場所です。高出力の赤外線ランプが、水や化学薬品のすぐ近くにあるのです。これはまさに災害の素地と言えます。
もしそのような環境下でランプが壊れてしまったら、単なる電球の破損という問題では済みません。ガラスの破片や微粒子がウェーハに降りかかり、それによってウェーハの品質が低下してしまいます。
熱衝撃の問題
通常の石英管では、高温や低温に耐えられません。600℃で動作しているランプに冷たい水がかかると、その部分のガラスが瞬時に収縮します。これが応力亀裂の原因です。
この問題を解決するために、強化された石英ガラスや防水ケースを使用します。これにより、液体が加熱要素に触れるのを防ぎつつ、赤外線光はウェーハを乾燥させるために通過できます。
破片の侵入を防ぐ
ウェーハに何も触れないようにするために、二重の封止構造を採用しています。ランプは密封された、化学薬品に耐性のあるケースの中に入っています。これは一種の保険のようなものです。フィラメントが壊れたり、内側の管が割れたりしても、外側のケースがすべてを受け止めます。そうすれば、ガラスの破片がウェーハに混入することはありません。また、端子部分にも耐久性の高いシールを使用しています。もし湿気が電気接続部に入ってしまうと、短絡やランプの破壊が起こります。シールによってこれを防ぎます。
設置時の注意点
防水シールを追加すると、多少状況が変わります。材料が増えるため、熱が直接ウェーハに当たることは少なくなります。そのため、温度上昇の速度や電力設定を調整する必要があります。また、冷却ファンも確認しておく必要があります。長時間の高負荷運転中でも、筐体が冷たく保たれるようにしなければなりません。
これらを既存のラックに取り付けるのは簡単です。ただし、シールがしっかりと固定されているかを確認してください。わずかな隙間があれば、湿気が侵入してしまいます。