ウェーハの硬化処理において、適切な赤外線反射器を選ぶことが重要です。ウェーハを硬化させる際、重要なのはどのようにして熱を制御するかという点です。多くの人々は、単に出力を上げればいいと考えますが、それは無駄な行為です。私たちは代わりに反射器に焦点を当てます。これこそが、赤外線エネルギーが実際にウェーハに作用し、部屋全体が温められるのを防ぐための鍵です。
特に今では、「グリーンファクトリー」を目指す動きが盛んであり、目的はより多くの電力を使うことではなく、各光子を有効に活用することです。
熱が実際にどこに行くか
考えてみてください。反射器のない硬化ランプでは、エネルギーの半分が無駄になってしまいます。これは大きな損失です。 私たちは金やアルミニウムのコーティングを使用して、短波長の赤外線を再びウェーハに戻します。そうすることで、出力を変えずに熱量を増加させることができます。反射率が高ければ、1枚のウェーハあたりの消費電力量も少なくなります。簡単ですよね。
適切な材料の選定
どんな金属でも使えるわけではありません。硬化処理が行われる場所の温度によって適した材料が異なります。 高純度のアルミニウムはほとんどの場合に適しています。しかし、温度が非常に高くなる場合は、金コーティングされた石英や特殊なセラミックスを使用します。なぜでしょうか？それは、繰り返される加熱・冷却によって安価な材料が歪んでしまうからです。 また、形状も正確でなければなりません。もし曲率が数ミリメートルでもずれていると、熱点が発生し、ウェーハが歪んだり、均一に硬化しなかったりします。
出力とスペースのバランス
工場での炭素排出量を減らすには、まず不要なエネルギーを削減することから始めます。 高反射率のシステムを使えば、より低出力のランプでも目的の表面温度を達成できます。また、冷却装置の負担も大幅に軽減されます。これは双方にとって有益です。 しかし、注意点もあります。 これらの反射器は熱を集中させるため、コンベヤーの速度が変動したりすると、ウェーハの端部分が過度に硬化してしまう可能性があります。したがって、コンベヤーの速度と焦点の強度を常に一致させておく必要があります。そうでなければ、不良品が生じてしまいます。 私たちは、これらの反射器をそのまま交換可能な形で設計しています。そうすれば、全ての装置を分解して再構築する必要なく、排出ガスの目標値を達成できます。