正确选择用于晶圆固化的红外反射器
在固化晶圆的过程中，关键在于如何有效地控制热量。大多数人以为只要增加功率就能解决问题，但实际上这是浪费资源。我们应该把注意力放在反射器上——它们才是确保红外能量能够准确照射到晶圆上的关键，而不是让整个房间都变热。
尤其是在如今大家都追求“绿色工厂”的背景下，目标不是提高功率，而是让每一个光子都能发挥作用。
热量到底去了哪里？
想想看：如果没有反射器，固化灯所发出的能量有一半会被白白浪费掉。这无疑是一种巨大的浪费。
我们会使用金或铝涂层来将短波红外光反射回晶圆上。这样，无需增加功率就能提升热量传递效率。更高的反射率意味着每块晶圆所需的能耗更低。就这么简单。
如何选择合适的材料？
不能随便使用任何金属材料。这取决于固化区域所需的温度。对于大多数情况来说，高纯度铝就足够了。但当温度非常高时，就需要使用镀金石英或特殊陶瓷材料。因为反复的加热和冷却会使廉价材料变形。
此外，反射器的形状也必须精确无误。如果其曲率有哪怕几毫米的偏差，就会产生热点，进而导致晶圆变形或固化不均匀。
平衡功率与空间需求
在制造工厂中减少碳排放，首先要做的是消除不必要的能源消耗。
有了高反射率的反射器之后，就可以使用功率较低的灯具，依然能达到所需的表面温度。同时，制冷设备也不需要那么努力地工作了。这是一举两得的做法。
不过，这也有一定的弊端：这些反射器会使热量高度集中。如果传送带的速度出现波动，就有可能导致晶圆边缘过度固化。因此，必须确保传送带的速度和焦点强度保持一致，否则就会产生废品。
我们设计的反射器可以直接替代现有的反射器，这样就不必拆解整个设备来达到减排目标了。