别再让加热器破坏您的MEMS产品产量了
如果您在100级洁净室中生产产品，那么您一定知道那种因产品损坏而带来的困扰。尽管您已经尽了一切努力，但那些微小的碎屑或廉价加热器释放出的气体仍可能附着在MEMS传感器的晶圆上。这样一来，产品的合格率就会下降。
这真是令人沮丧。
因此，我们选择了高纯度的合成石英红外灯。与那些会产生碎屑或气体的电阻式加热器相比，这类红外灯依靠的是辐射热，不会与晶圆发生物理接触，也不会因为空气流动而产生灰尘。这样就能实现快速、有效的干燥效果。
为什么石英如此重要？
我们使用的可不是普通的玻璃，而是高纯度的熔融二氧化硅。这种材料非常坚固，能够承受剧烈的温度变化而不破裂。同时，它也不会让金属离子渗入生产过程中。
真正的神奇之处在于其短波红外光谱。这种能量可以迅速清除晶圆上的残留物。而且，这种灯泡没有任何有机粘合剂或会在初次使用时产生烟雾的廉价涂层。一旦打开开关，它就能立刻提供稳定的热量。
如何将它们融入您的生产设备中？
这些设备的体积很小，非常适合空间有限的场合。由于它们能在小空间内产生大量热量，因此几乎可以立即开始工作。
不过需要注意的是，如此高的热量集中在一起可能会对周围设备造成损害。因此，您需要确保冷却风扇和散热装置正常工作，避免因为晶圆快速干燥而导致其他设备过热。
保持简单，才能保持洁净
在100级洁净环境中，“足够干净”其实反而会带来灾难。
我们尽量简化设计：只使用纯石英和钨元素。没有易挥发的涂料，也没有粘性粘合剂。我们还将石英外壳密封得很好，这样可以防止灯丝氧化，从而避免晶圆被玻璃碎片损坏。
只要不再让加热器成为污染源，您的生产过程就会变得简单得多，产品的合格率也会保持在理想水平。