标签为“微机电系统”的页面如下 MEMS传感器晶圆干燥加热器 别再让加热器破坏您的MEMS产品产量了 如果您在100级洁净室中生产产品,那么您一定知道那种因产品损坏而带来的困扰。尽管您已经尽了一切努力,但那些微小的碎屑或廉价加热器释放出的气体仍可能附着在MEMS传感器的晶圆上。这样一来,产品的合格率就会下降。 这真是令人沮丧。 因此,我们选择了高纯度的合成石... Read more...
MEMS传感器晶圆干燥加热器 别再让加热器破坏您的MEMS产品产量了 如果您在100级洁净室中生产产品,那么您一定知道那种因产品损坏而带来的困扰。尽管您已经尽了一切努力,但那些微小的碎屑或廉价加热器释放出的气体仍可能附着在MEMS传感器的晶圆上。这样一来,产品的合格率就会下降。 这真是令人沮丧。 因此,我们选择了高纯度的合成石... Read more...