节能型晶圆加热器

在智能工厂中实现理想的温度控制 如果你希望向工业4.0模式转型，那么你肯定已经意识到，自动化只是其中的一半而已。真正的挑战在于热能管理。 在加热晶圆方面，我们倾向于使用高密度红外加热系统。为什么呢？因为这种系统无需考虑周围的空气环境，能够将热量精准地传递到需要的位置。这正是数字化生产线上所必需的精...