用于冲洗的防水红外线灯

如何防止晶圆污染：如何在清洗区域正确使用红外灯 说实话，晶圆制造过程中的清洗和干燥阶段确实是个令人紧张的环节。那些高功率的红外灯就放置在喷水装置和化学药品旁边，这无疑会增加出问题的风险。 如果在这种环境下灯泡发生破裂，那么问题就不仅仅是一个灯泡坏了这么简单了。破碎的玻璃碎片会掉落在晶圆上，从而立刻...