TEL 东京电子 加热灯

在光刻工序中，只要光阻烘烤时的温度偏差达到1℃，原本合格的产品就有可能变成废品。因此，必须确保热量能够准确地传递到所需的位置，而且每次都如此。 真正重要的因素 TEL加热灯能够以亚毫米级的精确度将红外能量均匀地传递到目标区域。石英-卤素光源的升温速度很快，且能保持稳定状态，而闭环控制则可将温度控制...