批发晶圆干燥灯

离开旋转冲洗干燥机时，晶圆表面仍带有水分，表面张力已经开始作用于那些微观结构。即使稍微出错后续的热处理步骤，也会导致光刻胶轮廓漂移、边缘珠残留，进而影响下一步光刻叠合目标。这不是假设，而是可以用报废晶圆计数的良率损失。 晶圆干燥灯不仅仅是热源。它们是晶圆准备热预算中的最后关键环节，直接决定光刻胶在...