Mattson RTP 灯更换

在晶圆厂车间，灯管漂移不会直接触发报警。它表现为晶圆上出现0.3°C的热点、关键尺寸的缓慢偏移，以及光刻胶无法均匀烘烤。当Mattson RTP设备老化时，热均匀性是最先出现问题的。我们使用的替换灯管能够纠正这种漂移，将工艺控制恢复到应有的水平。 其技术核心是红外加热的精准度。我们采用短波红外光源...