可调光半导体加热灯

在光刻工艺中，任何细微的偏差都可能导致关键尺寸出现纳米级的误差。一旦温度控制出现半度的偏差，那么关键尺寸就会发生巨大变化。为此，我们设计了可调节亮度的半导体加热灯，从而将温度控制在理想的范围内——即保持稳定、可重复且易于控制。 核心要点 这种加热灯采用短波红外线发射器，能够快速加热晶圆，同时确保整...