热分析仪加热灯

在光刻过程中，无论是软烘还是硬烘阶段，1°C的温度偏差都绝非可以忽视的数值。这种偏差会表现为线宽的变化、表面瑕疵以及成品率下降等问题。由于热控制难度本来就很大，烤箱或加热板显然无法承受那些会导致光刻胶超出其最佳温度范围的波动。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们设计的这种热分析仪所使用的加热灯，...