为什么我们在光刻机中使用石英防护罩
如果在半导体制造厂工作过，那么您应该知道，红外固化技术是最佳选择。这种技术既干净又环保，还能通过直接将能量传递到衬底上来完成加工任务。不过，有一个问题：不能让灯直接暴露在洁净室里。这时，石英防护罩就派上用场了。
关键在于热量问题。
这些防护罩并非只是装饰品而已。我们使用高纯度的熔融石英，因为这种材料能让短波红外线顺利穿过，而不会被吸收。如果使用普通玻璃的话，它会被大量热量吸收，从而产生应力，最终导致玻璃破裂。
石英则可以承受这些高温。当灯光启动时，温度会立刻上升。石英能够承受这种冲击，同时保护灯丝不受损坏，避免其受到恶劣环境的影响。
保持清洁与正常运行
真正的难题在于污染问题。在制造厂里，到处都有气体和化学物质的残留物。哪怕有一点点杂质接触到正在工作的灯的石英管，就会引发问题。这会导致“热点”的形成——也就是热量无法散发的地方。很快，灯就会因为过热而损坏。
防护罩可以承受这些冲击，这样灯就不必承受如此大的压力。此外，我们还确保这些防护罩易于更换。没人希望因为防护罩变脏而导致生产线停止运转数小时。
权衡利弊
当然，没有什么是免费的。每在灯和晶圆之间加一层屏障，就会损失一部分能量。即便使用了石英，也仍会有部分热量残留下来。
在计算功率时，您会注意到这一点。如果您希望实现更快的固化速度，可能需要提高功率，以弥补防护罩所吸收的能量。
最后一点建议：请检查安装支架是否牢固。如果支架出现振动，随着时间的推移，防护罩可能会出现微裂纹，进而导致故障。