在光刻过程中，无论是软烘还是硬烘阶段，1°C的温度偏差都绝非可以忽视的数值。这种偏差会表现为线宽的变化、表面瑕疵以及成品率下降等问题。由于热控制难度本来就很大，烤箱或加热板显然无法承受那些会导致光刻胶超出其最佳温度范围的波动。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们设计的这种热分析仪所使用的加热灯，...

在晶圆厂车间，烘烤温度仅偏移半度就足以报废整批产品。你会观察到光刻胶轮廓变化，在计量环节出现关键尺寸偏差，产量损失直接反映在你的班次报告中。 传统烤箱和单区热板迫使你在热预算和产能之间做出权衡。我们采用分区加热，避免了这种妥协。 技术关键点 每个加热区都采用独立控制的短波近红外（NIR）响应卤素灯...