红外加热与热风加热：为何选择红外加热对晶圆处理至关重要
如果您考虑用红外加热取代热风加热技术，那您所做的不仅仅是更换一种加热器而已。实际上，您是在消除那种会拖慢整个加工过程的“热量传递延迟”问题。
漫长的等待时间
想象一下热风加热的原理：首先需要加热空气，然后等待腔室壁面变热，最后热量才能传递到晶圆上。这个过程相当缓慢。
而红外加热则完全不同。它利用的是电磁辐射，因此光子可以直接照射到晶圆表面。其速度极快——只需几秒就能达到目标温度，而非几分钟。在大规模生产中，这些浪费的时间可不是小问题，它们会严重影响生产效率。
寻找最佳距离
这里有个难题：灯与晶圆之间的距离如何控制？如果距离太近，就会导致局部过热，甚至损坏晶圆；而如果距离太远，则无法发挥红外加热的优势。
通常，我们可以通过计算每平方厘米所需的功率来确定最佳距离。不过，红外加热的好处在于可以精准控制热量的分布。通过调整灯的高度或使用反射器，可以让热量均匀地分布在整个晶圆上。
需要注意的问题
不过，红外加热也有一些缺点。因为它产生的热量非常大，所以必须要有精确的PID控制系统以及能够快速响应的传感器。否则，就很容易超出目标温度范围。另外，如果冷却系统无法及时应对突然的热量释放，那么温度波动就会毁掉整批产品。
尽管如此，其好处还是显而易见的：加热区域更小，加工时间也更快。对于那些希望提升加工速度的人来说，这无疑是最佳选择。