在100级洁净室中正确使用加热设备
在100级洁净室中工作时，实际的温度几乎无关紧要。真正的问题在于加热器向空气中释放的杂质。大多数普通加热元件并不适合在这种环境中使用，因为它们在加热和冷却过程中会释放出微小的颗粒或碎片。如果处理的是晶圆或光学涂层产品，哪怕只有一个颗粒进入生产区域，都可能毁掉整批产品。这不仅令人沮丧，还会带来巨大的经济损失。
为避免这种情况，我们选择使用高纯度的合成石英和碳纤维丝作为加热元件。
为何选择石英？ 我们选择高纯度石英管，因为它们在高温下不会产生碎片或分解。金属外壳则容易出现问题，而石英则具有稳定的化学性质。我们将碳纤维元件密封在真空封装中，这样就能防止任何杂质进入生产区域。这样一来，就能获得稳定的热量输出，没有杂质干扰。
缺点：热密度问题 碳纤维灯的优点是升温速度极快，这对加快生产进度很有帮助。但缺点是热量非常集中。如果使用高功率的碳纤维灯，就必须有有效的散热装置，否则高温会导致精密部件变形。在启动设备之前，请务必检查安装支架是否能够承受热膨胀带来的压力，否则在高峰时段就可能出现部件错位的问题。
安装注意事项 这些灯是可以直接替代现有红外灯组的。我们保留了标准的尺寸，因为没人愿意浪费周末时间来重新加工安装装置。不过，在安装时一定要保持极度清洁，使用无尘抹布和异丙醇进行清洁。哪怕有一个指纹留在石英表面上，也会在第一次使用时烧入玻璃中，从而形成“热点”，缩短灯具的使用寿命。最后，还要确保电源稳定，电压波动会损害灯具的性能。稳定的电流可以防止灯丝出现脉冲现象，从而使整个工件上的温度保持一致，进而延长灯具的使用寿命。