ウェーハの硬化処理における適切な熱の制御
半導体製造工程において最も難しいのは、ウェーハに熱を与えることです。しかも、それを迅速に行わなければなりません。しかし、単に出力を上げればいいというわけではありません。ウェーハを取り囲む部分が過度に加熱されてしまうと、問題が発生します。
私たちは、認定されたIR硬化ランプと金メッキされた反射板を組み合わせてこの問題に対処しています。目的は、無駄なエネルギーの消費を防ぐことです。
なぜ金なのか？
多くの人々はアルミニウム製の反射板を使用しますが、それでは不十分です。アルミニウムはエネルギーを過剰に吸収し、光をあちこちに散乱させてしまいます。一方、金は全く違います。近赤外線を効果的に反射するのです。金の薄膜を使用することで、光子に「機械のフレームに当たらず、ウェーハに向かって戻ってくれ」と伝えることができます。これにより、熱の集中を抑え、加熱にかかる時間を短縮できます。効率的で、クリーンです。
熱密度に注意する
ただし、金を使ってエネルギーを集中させると、表面の熱密度が急激に上昇します。非常に高温になります。この点においては、冷却システムをしっかり管理する必要があります。もし空気の流れやヒートシンクが十分でなければ、ウェーハが変形したり、ランプが破損したりする可能性があります。通常、W/cm²という理想的な値を得るために、出力や反射板の形状を調整するのにかなりの時間を費やします。
注意点
これらのランプはクリーンルーム用に設計されているため、設計はシンプルになっています。狭いスペースでも問題なく設置できます。ただし、金は敏感な素材です。反射板にほこりが付着すると、効率が低下します。その結果、同じ結果を得るために出力を上げざるを得ず、ランプの寿命が短くなります。必ず清潔に保ちましょう。
また、配線に関しては、電源が初期の過大電流に耐えられるかどうかを確認してください。金メッキシステムの利点は、全体的な電力の投入量を減らしても、ウェーハを必要な温度に保つことができる点です。