なぜ赤外線がスマートファブの鍵となるのか？ もしIndustry 4.0向けのスマートファブを構築しようとしているなら、従来の加熱方法ではもはや不十分だと気づいているはずです。あの巨大な対流式オーブンは、処理に時間がかかり、場所も多く取り、反応も遅い。本当にイライラしますよね。 そのため、私たちは高性能な赤外線システムを利用します。巨大なチェンバー内の空気全体を温めるのに時間を浪費する代わりに、赤外線は直接基材に熱を照射します。これにより、より効率的で速く、電力代も節約できます。
ハードウェアを実際に「スマート」にするには？ 単に「スマート」という名前が付いているからといって、そのファブが本当にスマートになるわけではありません。重要なのはデータです。 現代の赤外線アレイの素晴らしい点は、他の装置と連携して動作することです。PLCコントローラーやPIDループと接続することで、ウェーハやパネル全体に均一に熱が行き渡ります。消費電力や表面温度もリアルタイムで確認できます。 さらに良い点は、生産ラインの速度を上げる必要がある場合、ランプが即座に反応することです。待つ必要はありません。すぐに動き始めます。
精度を正確に保つ 半導体やディスプレイの世界では、わずかなミスでも大きな問題になります。精度が何よりも重要です。 赤外線を使えば、材料がどの波長を吸収するかに応じて、短波長、中波長、長波長を選ぶことができます。ゾーン別に加熱することで、厄介な冷たい部分を排除できます。各ゾーンを個別に調整できるため、部品が歪んだり、均一に硬化しない心配もありません。ただ効果的に機能します。
しかし、デメリットもあります。 大量の電力を狭い空間に込めると、電気設備に負荷がかかります。冷却システムも完璧でなければなりません。 もし排気や冷却水のシステムが熱に対応できなければ、敏感なセンサーが異常を検知し、温度制御が停止してしまいます。これは修正が非常に難しい問題です。安心して眠るために、通常は冷却能力を15％程度過剰に設定します。そうすることで、支障が出ないようにするのです。