なぜ、すべてのランプをテストするのか（そして、なぜそれが重要なのか） 実は、ウエハー製造においては、ごくわずかな電気的漏れがあっただけで、大量のシリコンが廃棄されたり、システム全体が故障したりしてしまいます。これは誰も望まない恐怖です。 そのため、私たちは「バッチサンプリング」を行いません。10個中1個だけをテストして、運が良ければ大丈夫というわけにはいきません。スプレッドシート上では1％の不良率は小さな数字に見えますが、高電圧を使用する工業用ヒーターの場合、1％というのはかなり高い数値です。 私たちは、出荷されるすべてのランプや加熱要素をテストします。例外はありません。
弱点の特定
高ワット数のランプは過酷な環境で働きます。激しい熱にさらされるため、時間が経つにつれてセラミック絶縁体やクォーツに微細な亀裂が生じることがあります。 これらを見つけるために、高電圧のACまたはDCを使った耐久試験を行います。通常の動作電圧をはるかに超える電圧をかけてみるのです。なぜかというと、もし弱点があるなら、工場内で早めに故障させる方が、お客様の装置内で爆発するよりも安全だからです。これが、電力がフィラメント内に留まり、筐体内に漏れないようにする唯一の方法です。
「ゴースト電流」の検出
私たちは、漏れ電流にも細心の注意を払っています。回路から漏れ出る電流の量を正確に測定します。 もし急激な上昇が見られれば、その部品はすぐに廃棄されます。 無駄な努力に思えるかもしれませんが、この「ゴースト電流」はウエハー位置センサーに悪影響を与える可能性があります。センサーの動作が不安定になると、精度が低下してしまいます。
ここが重要なポイントです
問題は、私たちのテストでは、ランプが出荷時には完璧であることが証明されますが、設置時に何が起こるかはコントロールできないということです。 もし技術者が配線を傷つけたり、取り付けブラケットを締めすぎたりした場合、絶縁体が割れてしまうことがあります。これはよくあることです。安全を確保するためには、配線用のケーブルもランプと同じ電圧ピークに耐えられるものを使用してください。 お手伝いとして、各シリアルナンバーに対応するテストレポートを提供しています。これはベースラインとして考えてください。予防保守を行う際に、絶縁抵抗の値をチェックしましょう。その数値が下がり始めたら、ランプが故障して電源装置が停止する前に交換する時期です。