ヒーターが生産効率を低下させるのを防ぎましょう。
高負荷の半導体製造を行っている場合、最悪の事態を想像してみてください：赤外線ランプが破損してしまうのです。
それは大惨事です。クォーツ管が破裂すると、ガラスの破片や金属片がウェーハに降り注ぎます。その結果、生産効率は急激に低下し、最悪の場合は全く生産できなくなってしまいます。
ちょうどそのために、私たちは特別な方法でヒーターを設計しているのです。単に高温にするだけでなく、破損しないようにしているのです。
配線の問題点
一般的な配線は弱点です。繰り返される加熱・冷却によって接続部分が壊れてしまいます。
そこで、私たちは高品質なテフロン（PTFE）コーティングされた配線を使用しています。なぜかというと、テフロンは高温でも変質せず、ケースに溶け込んだり、異常なガスを放出したりしません。もし絶縁材が燃え尽きてしまうと短絡が起こりますし、溶けてしまうとシリコンに汚染が生じます。どちらも避けたいのです。
耐久性のある部品の作成
ほとんどのクォーツ管は、機械的なストレスや不均一な膨張によって破損します。つまり、加熱時に圧力がかかり、破裂してしまうのです。
これを解決するために、私たちは緩衝装置を使っています。これにより、クォーツ管に余裕が生まれ、動作温度に達してもストレスを受けないようになります。また、高純度のクォーツを使用しているため、急激な温度変化にも耐えられ、安定して動作します。
高負荷環境の現実
正直なところ、より速い温度上昇を実現するためにワット数を上げると、クォーツ管にかかる負荷が増えます。
私たちの安全設計によって助けられますが、ランプを限界まで使い続けると、電極が早く劣化してしまいます。これはバランスの問題です。高い生産効率を求める一方で、ランプが長持ちすることも必要です。
最善の方法は、定期的にランプを交換することです。自分の都合の良いタイミングでランプを交換する方が、何かが壊れてしまって計画外の停止が起こるよりもずっと安上がりです。
適切な配線をし、冷却空気の流れを安定させれば、汚染の心配をする必要はありません。