シャードの発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法
大量生産の半導体製造ラインにおいて、赤外線ランプが破損するのは大問題です。単に停止するだけでなく、ガラスの破片や微粒子がウェーハに付着してしまいます。本当に大変な状況です。
そのため、私たちはクリーンルーム内のヒーターを設計する際、このような災害が起こる前に対処できるようにしています。
安全網
私たちは、石英管だけに頼るわけではありません。安全網として機能する二次的な保護装置も備えています。もし石英管が破損しても、この装置が破片を捕らえてくれます。
また、ランプが長持ちするように、高純度の石英を使用しています。これにより、急激な電力の変動にも耐えられ、熱衝撃による破損を防げます。そうすれば、製造途中でトラブルが起きることも少なくなります。
熱対策
高出力のランプを狭い空間に配置すると、すぐに高温になってしまいます。冷却機能が十分でなければ、ランプの先端が過熱してしまいます。そうなると、密封部品が壊れてガスが漏れ出します。
これを防ぐため、強化されたコネクタや特殊なエンドキャップシールを使用しています。これにより、熱ストレスがかかっても真空状態が維持されます。
迅速な交換、ほとんどの塵の発生を防ぐ
ランプの交換は、複雑な作業になってはいけません。標準化されたコネクタを使用することで、簡単に交換できます。新しいランプを取り付けるだけで、すぐに再稼働できます。
ランプの交換が早ければ、オーブンが開いている時間も短くなります。そして、オーブンが開いている時間が短ければ、空気中の微粒子が中に入ってきて製品を汚染する可能性も低くなります。
アドバイス
一つだけアドバイスをします。これらのランプを最大出力で使い続けると、早く壊れてしまいます。これはトレードオフです。どれだけ速く温度を上昇させたいか、そしてどのくらいの頻度でランプを交換したいかを考えなければなりません。
もし過剰な高温で長時間使用すると、数週間ごとに石英管を交換しなければなりません。PID調整を適切に行い、目標温度を超えないようにしましょう。そうすれば、ハードウェアも、あなた自身の精神状態も守られます。