なぜ金コーティングされた反射板がIRランプにとって重要なのか
ウェーハ処理のためにクリーンルーム内でIRランプを使用している方なら、その苦労はよくご存知でしょう。ターゲットに当たらない1ワットものエネルギーは、単なる無駄遣いに過ぎません。さらに悪いことに、それによってクリーンルームがオーブンのようになり、空気の流れを保つためにHVACシステムが過酷な負荷を強いられます。
そこで役立つのが金コーティングです。
金の利点
ほとんどの人は標準的なアルミニウム製の反射板を使っています。それでも十分ですが、赤外線領域ではエネルギーが多く漏れてしまいます。
私たちは高純度の金を使用することにしました。なぜなら、長波長や中波長の赤外線を効果的に反射できるからです。熱がランプ本体に吸収されて無駄になる代わりに、金コーティングがその光子を直接ウェーハに送り込みます。
その結果、熱が集中し、ランプの起動時間も大幅に短縮されます。効率の面では劇的な違いがあります。
出力密度についての注意点
問題は、これだけ多くのエネルギーを集中させると、部品が非常に高温になるということです。金コーティングは熱を効果的に前方に送り出すため、ランプ本体も大きな負担を受けます。単に接続して放置するだけでは不十分です。冷却ファンや水冷装置がその負荷に耐えられるかを必ず確認しましょう。
もし空気の流れが悪ければ、ランプが壊れたり、コーティングが劣化したりする可能性があります。常に清潔に保つことが大切です。そうすれば、ランプはしっかりと機能します。