先進的なウェーハファブ向けゾーン加熱

Fabフロアでは、ベーク温度の半度のドリフトだけでロット全体を廃棄することになる。フォトレジストのプロファイルの変化を監視し、計測でクリティカルディメンションのバイアスが現れ、歩留まりの低下がシフトレポートに反映されるのを目の当たりにする。 従来のオーブンや単一ゾーンのホットプレートでは、熱予算と...