なぜ、すべてのランプをテストするのか（そして、なぜそれが重要なのか） 実は、ウエハー製造においては、ごくわずかな電気的漏れがあっただけで、大量のシリコンが廃棄されたり、システム全体が故障したりしてしまいます。これは誰も望まない恐怖です。 そのため、私たちは「バッチサンプリング」を行いません。10個...

ウェーハの硬化処理において、適切な赤外線反射器を選ぶことが重要です。ウェーハを硬化させる際、重要なのはどのようにして熱を制御するかという点です。多くの人々は、単に出力を上げればいいと考えますが、それは無駄な行為です。私たちは代わりに反射器に焦点を当てます。これこそが、赤外線エネルギーが実際にウェー...

IR加熱と熱風加熱：ウェーハ処理においてなぜ切り替えが重要か もし、深層加工において熱風循環方式をIR加熱に置き換えようと考えているのであれば、単に新しいヒーターを選ぶだけではありません。実際には、すべての処理を遅らせる原因となる「熱伝達の遅れ」という問題を解消することになります。 待つ時間 強制...

もう、ヒーターがMEMSの歩留まりを悪化させるのを許してはいけません。 クラス100のクリーンルームで作業を行っているなら、製品が台無しになるという恐怖をご存知でしょう。あらゆることを正しく行っていても、安価なヒーターから出る微細な破片やガスがMEMSセンサーワイファーに付着してしまいます。そうな...

スマートファブで効果的な温度管理を実現するために もしインダストリー4.0の環境を構築しようとしているのであれば、自動化だけでは不十分だということに気づいているはずです。本当の問題は、熱エネルギーの管理です。 ウェーハを加熱する際には、高密度の赤外線システムを利用しています。なぜかというと、このシ...

高精度赤外線加熱ランプ：実感できる安全性 ウェーハ処理装置を稼働させる際、電気的な信頼性は「便利なもの」ではありません。それは不可欠な要素です。 そのため、当社では、すべての高精度赤外線加熱ランプを出荷する前に、絶縁耐力や絶縁抵抗のテストを徹底的に行っています。手を抜くことはありません。サンプル検...

Fabフロアでは、ベーク温度の半度のドリフトだけでロット全体を廃棄することになる。フォトレジストのプロファイルの変化を監視し、計測でクリティカルディメンションのバイアスが現れ、歩留まりの低下がシフトレポートに反映されるのを目の当たりにする。 従来のオーブンや単一ゾーンのホットプレートでは、熱予算と...