クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター

シャードの発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 大量生産の半導体製造ラインにおいて、赤外線ランプが破損するのは大問題です。単に停止するだけでなく、ガラスの破片や微粒子がウェーハに付着してしまいます。本当に大変な状況です。 そのため、私たちはクリーンルーム内のヒーターを設計する...