業務用ウェハー乾燥ランプ

スピンリンスドライヤーから出てくるウェハーは濡れた状態で、表面張力が微細構造に作用している。続く熱処理ステップでわずかでも誤差が生じると、フォトレジストのプロファイルが変動し、エッジビードが残留し、次のリソグラフィのオーバーレイターゲットがずれる。これは仮説ではなく、歩留まりの漏れであり、廃棄ウェ...