省エネ型ウェーハヒーター

スマートファブで効果的な温度管理を実現するために もしインダストリー4.0の環境を構築しようとしているのであれば、自動化だけでは不十分だということに気づいているはずです。本当の問題は、熱エネルギーの管理です。 ウェーハを加熱する際には、高密度の赤外線システムを利用しています。なぜかというと、このシ...