ウェーハ加熱時の安全距離

IR加熱と熱風加熱：ウェーハ処理においてなぜ切り替えが重要か もし、深層加工において熱風循環方式をIR加熱に置き換えようと考えているのであれば、単に新しいヒーターを選ぶだけではありません。実際には、すべての処理を遅らせる原因となる「熱伝達の遅れ」という問題を解消することになります。 待つ時間 強制...